Ịchọpụta Nsogbu nke Njehie na Njehie N'usoro N'usoro N'ọtụtụ Sistemụ Axis

Ị tinyela sistemụ ọhụrụ dị iche iche, kpọọ igwefoto ọhụụ gị, malite usoro mmegharị gị - ma lelee onyonyo ahụ ka ọ na-apụ n'anya n'enweghị ihe kpatara ya? Ma eleghị anya, ị hụla ka mma laser micromachining gị si agbanwe n'ebe ọrụ ahụ n'agbanyeghị na ntọala ike na ọsọ ahụ ka dị otu. Onye kpatara ya na-ezokarị n'ebe a na-ahụ anya nke ọma: obere njehie akụkụ a na-akpọ wobble na pitch.

Njehie ndị a na-adị ka ihe nzuzo. Ha anaghị akpalite mkpu mgbe niile. Ha na-eri obere oge n'ime oke usoro gị ruo mgbe akụkụ ndị ahụ malitere ịda ada. Dịka onye nrụpụta ihe owuwu nke nwere ihe karịrị afọ itoolu n'ala ụlọ ọrụ mmepụta ihe, anyị ahụla akụkọ a ka ọ na-aga n'ọtụtụ narị ọrụ. Ebumnuche anyị ebe a bụ iduzi gị na ya - ọ bụghị site na ozizi akwụkwọ, kama site na idozi nsogbu dị irè.

Anyị ga-aza ajụjụ a na-ajụkarị:"Kedu otu m ga-esi belata mkpọtụ ọkwa ahịrị nke ọma ma dozie nsogbu njehie pitch na sistemụ ọkwa ahịrị dị iche iche m?"Were kọfị. Anyị ga-ewepụ ihe ndị a otu otu.

Kedu ihe bụ njehie Linear Stage Wobble na Pitch, n'ezie?

Ka anyị mee ka nkọwa ndị ahụ dị mfe. Ị na-arịgo otu ebe iji bufee ibu site na A gaa na B n'ahịrị kwụ ọtọ. N'ụwa n'ezie, ụgbọ ala ahụ anaghị aga n'ihu naanị. Ọ na-ama jijiji ntakịrị. Mkpọtụ ahụ na-agbaji n'ime mmegharị akụkụ atọ:

Nkọwapụta:Ụgbọala ahụ na-ada elu ma ọ bụ ala dị ka ihe e ji akwọ ụgbọ mmiri (na-atụgharị gburugburu Y).

Achịcha:ụgbọala ahụ na-aga n'aka ekpe ma ọ bụ aka nri (na-atụgharị gburugburu Z).

Mpịakọta:ụgbọala ahụ na-agbagharị gburugburu axis nke njem (mgbagharị gburugburu X).

Mgbe ndị mmadụ na-ekwu makaAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọ, ha na-akọwakarị njikọta nke pitch na yaw — mmegharị nke na-eme ka akụkụ gị dị ka ọ na-efegharị ma na-akpa ákwà n'ụzọ ya. Maka ọtụtụ stacks multi-axis, ihe mejupụtara pitch na-afụ ụfụ nke ukwuu n'ihi na ike ndọda na ibu cantilevered na-ada mgbe niile n'elu ụgbọ ala ahụ.

Chee echiche banyere agịga na-ekesa obere ihe nke etinyere n'elu axis Z. Ọ bụrụ na ọkwa XY dị n'okpuru nwereAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọN'ime naanị microradian iri anọ, nsọtụ agịga ahụ nwere ike ịgafe ihe karịrị micron anọ n'akụkụ njem ahụ. Nke ahụ ezuola iji tee ihe mmado nke nwere obosara micron iri. Nke ahụ bụkwa naanị otu axis. Mgbe ị na-agbakọta abụọ ma ọ bụ atọ, njehie ndị ahụ na-agbakọta ngwa ngwa.

Ihe Mere Sistemụ Ọtụtụ Axis Ji Eme Ka Njehie Dị Nta Bụrụ Nsogbu Ukwu

Ọkwa otu-axis nwere ike inwe nkọwapụta pitch nke sekọnd iri abụọ. Nke ahụ dị egwu na mpempe akwụkwọ data. Mana naogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axisihe niile na-agbawa agbawa. Ala nke ọkwa ahụ na-agbawa agbawa, ntụgharị ahụ na-aghọkwa usoro nhazi maka ọkwa ahụ dị n'elu. Ọ bụrụ na elu nke ọkwa ahụ nwere njehie pitch nke ya, ị ga-enweta nsogbu okpukpu abụọ. Anyị na-akpọ njehie stacking a, ọ bụkwa ya mere sistemụ 2-axis ji arụ ọrụ nke ọma karịa mkpokọta nke nkọwapụta nke ọkwa nke ọ bụla.

N'ime usoro gantry nke nwere ọtụtụ axis, njehie pitch site na axis ala na-aghọ usoro nhazi maka axis ọ bụla arụnyere n'elu ya.

Lee ezigbo ihe atụ sitere na ebe nzukọ anyị:

Ị nwere ike ịhụ na ọnụọgụgụ anaghị agbakọ naanị — ha na-agbakọta site na ibu na ogwe aka. Nke a bụ kpọmkwem ihe kpatara yansogbu nsogbu pitchn'imeogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axiskwesịrị ileba anya na mkpokọta ahụ dum, ọ bụghị naanị axes nke ọ bụla.

Nchọpụta Nsogbu Njehie Ntugharị Nzọụkwụ-site-Nzọụkwụ

Mgbe onye ahịa kpọrọ anyị oku maka nsogbu ịma jijiji, anyị na-agbaso usoro a nwapụtara. Ọ na-arụ ọrụ ma ị nwere usoro anyị ma ọ bụ nke onye ọ bụla ọzọ. Lee ụzọ dị mfe isi mee nke a:

1. Tụọ nke Mbụ, Mara na Emela Ihe

Ị chọrọ ntọala. Igwe interferometer laser dị mma, mana ọkwa eletrọniki ma ọ bụ autocollimator na-arụkwa ọrụ. Dee njehie akụkụ ahụ n'akụkụ njem zuru oke nke axis ọ bụla, nke etinyere kpọmkwem ka ọ dị na igwe gị. Dee pitch elu-ruo-ndagwurugwu na yaw. Ahapụla nzọụkwụ a - ọ na-egbochi gị ịchụso mmụọ.

2. Lelee Elu Ebe E Si Etinye Ya

Nke a bụ ihe kpatara nke mbụAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọnke anyị na-ahụ n'ọhịa. Ọ bụrụ na efere ntọala gị adịghị larịị, ị na-akụnye ogbo dị larịị n'elu elu gbagọrọ agbagọ, na-agbagọ ụzọ ndị na-agba ọsọ. Hapụ obere ihe ndị na-etinye ihe n'elu ya ma jiri ihe nlele mee ihe n'okpuru ogbo ahụ. Shim 5-micron n'okpuru otu nkuku nwere ike ibelata njehie pitch n'ime ọkara. Jiri shim stock ma ọ bụ kpụchaa elu ahụ dị larịị.

3. Lee anya n'oge ibu gị na oge ị kwụfere oke

Ogbo ọ bụla nwere oke ibu oge a na-enye ọkwa (Nm). Ọ bụrụ na ibu gị gbasaa nke ukwuu, mmetụta ike na-emepụta oge mbelata nke bearings na-alụ ọgụ mgbe niile. Tụọ anya site na etiti ụgbọala ruo na etiti ibu nke ngwaọrụ gị. Mee ka nke ahụ bawanye site na ibu ya. Ọ bụrụ na ọnụọgụgụ a gafere nkọwapụta nke ọkwa ahụ, ị ​​ga-ahụAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọmụbaa ibu n'okpuru ibu. Mezie ya site n'itinye nguzozi megidere ihe ma ọ bụ ibuga ibu ahụ nso.

4. Nhazi mbufe tupu oge eruo

Ọkwa ndị a na-akpọ crossed-roller na ndị na-ebu bọọlụ chọrọ ibu ha nke ọma iji wepụ oghere dị n'ime. Ka oge na-aga, iyi ahụ na-eme ka ibu ha dị jụụ, ụgbọ ala ahụ na-amalitekwa ịma jijiji n'ụzọ dị omimi. Ọtụtụ usoro nwere skru mgbanwe ma ọ bụ kamera dị iche iche. Mee ka ọ sie ike na obere mmụba ka ị na-enyocha ọkụ draịva moto (maka usoro moto) ma ọ bụ ike push (maka aka). Ị na-achọ mmụba dị nro na drọd. Mgbe emechara nhazi ahụ, tụọ njehie pitch gị ọzọ. Ọ kwesịrị ịda nke ọma.

5. Hichaa ma lelee ụzọ ịgba ọsọ

Unyi na-egbu nkenke. Ihe dị ka ntutu isi mmadụ nke dị n'ime agba ebu nwere ike ime ka ọ dị nkọ n'otu ebe n'oge njem. Wepụ ihe mkpuchi ahụ, jiri ákwà na ihe mgbaze na-enweghị lint hichaa okporo ụzọ ndị ahụ, ma jiri mmanụ a tụrụ aro tee ya mmanụ ọzọ. Ọ bụrụ na ogbo ahụ ejiri ihe e ji agagharị agagharị, lelee na igbe ahụ anaghị ejikọta ọnụ. Anyị ahụla ihe nhicha dị mfe nke 30% nkeAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọnsogbu ozugbo.

6. Orthogonality dị na Stack

Ọ bụrụ na axes X na Y gị abụghị square zuru oke, axes Y ga-arịgo ma ọ bụ mikpuo ka X na-agagharị, nke dị ka njehie pitch n'elu axes. Jiri ihe ngosi square na dial ziri ezi iji chọpụta akụkụ nrụnye dị n'etiti axes. Tọpụ bolts, pịa nwayọ n'ime nhazi, sie ike ọzọ na ụkpụrụ kpakpando. Nzọụkwụ a na-edozi ihe omimi nke mgbanweAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọn'ofe nhazi njem dị iche iche.

Nke a bụ mpempe akwụkwọ aghụghọ maka nsogbu nsogbu maka ntụaka ngwa ngwa:

Ọ dị mmansogbu nsogbu pitchbụ usoro 80% na ngwaọrụ 20%. Soro usoro ahụ, ị ​​ga-achọpụta ihe kpatara ya.

Ọkwa ndị a na-akpọ Crossed-roller vs. nke nwere bọọlụ maka arụmọrụ na-ama jijiji na pitch

N'oge na-adịghị anya, onye ọ bụla na-ewu usoro nhazi kwesịrị ekwesị na-eche ajụjụ dị mkpa ihu. Ọ bụ ihe a ma ama.Ọkwa ndị a na-akpọ Crossed-roller vs. nke nwere bọọlụ maka arụmọrụ na-ama jijiji na pitcharụmụka. Enweghị otu azịza dabara na mmadụ niile. Ka anyị kewaa ya dabere na ihe anyị tụrụ n'oche nzukọ anyị kemgbe afọ 9.

Ọkwa ndị a na-akpọ "cross-roller"jiri ihe mgbagharị okirikiri mee ihe n'ime oghere V. Ha na-enweta njikọ ahịrị, nke pụtara na ọ siri ike karịa ma nwee obere njehie n'akụkụ.Ndị nduzi ahịrị na-ebu bọọlụJiri bọọlụ ndị na-agagharị agagharị nke nwere ebe a na-akpọtụ. Ha na-adị ngwa ngwa, ha na-ejikwa njem dị ogologo karịa, mana ha nwere ntakịrị ike n'akụkụ.

Ọkwa Mkpọgharị Crossed-Roller	Nduzi Ibu Bọọlụ

Iji mee simenti a, lee ntụnyere dabere na usoro ndị a na-ahụkarị na oke ngwaahịa anyị (njem 100 mm, obosara ahụ 60 mm):

Ọ bụrụ na usoro gị chọrọ ihe kachasị mkpaAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọnjikwa — dịka ọmụmaatụ na nhazi anya ma ọ bụ nyocha — cross-roller bụ ihe kachasị amasị. Anyị na-edugakarị ndị semiconductor gaa na cross-rollerogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axisỌ bụ maka nke ahụ ka a na-agbakọta. Mana ọ bụrụ na ịchọrọ ikpuchi ọkara mita nke njem n'ọsọ dị elu site na ibu ibu kilogram 15 ma nwee ike ịdepụta ma kwụọ ụgwọ njehie n'akụkụ ngwanrọ, usoro nhazi bọọlụ ziri ezi dị mma.

Isi ihe dị mkpa bụ ijikọ teknụzụ ahụ na mmefu ego njehie n'ezie, ọ bụghị naanị ịchụso nkọwapụta kacha ala na akwụkwọ.

Ndozi Ụwa n'ezie na Ngwa Isi Atọ

Ka anyị tinye nke a n'ọrụ. Lee otu esi eme yaAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọnjehie n'olulu na-apụtakwa — ma dozie — n'ọhịa atọ siri ike.

Nnyocha Wafer Semiconductor

NaNnyocha wafer semiconductor, aogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axisỌ na-eji ihe e ji enyocha ihe dị ka microscope eme ihe. Omimi nke ilekwasị anya nwere ike ịbụ ihe na-erughị 1 micron. Ọ bụrụ na ihe e ji enyocha ihe dị ka sekọnd 30 nke pitch, elu wafer ahụ na-agbanwe site na ọtụtụ micron n'oge nyocha ahụ. Nke ahụ na-enye gị onyonyo na-adịghị mma na ntụpọ ndị a na-atụghị anya ya.

Ndị injinia anyị na-awakpo nsogbu a site n'ịkwado nhazi nke ọma (orthogonality), na-ebelata ihe kpatara ya (ịtinye ihe mgbaru ọsọ ahụ n'elu ụgbọ ala na-agagharị), na ịhọrọ ọkwa ndị a na-atụgharị atụgharị nke nwere pitch a tụrụ n'okpuru sekọnd 15. Anyị na-akwadokwa usoro ikpo ọkụ iji mee ka warping okpomọkụ kwụsie ike tupu nyocha agba ọsọ. Otu onye ahịa belatara njehie defocus ha site na 40% naanị site na idozi larịị ntọala nke na-etinye ya.

Ịmepụta obere igwe na-arụzi laser

Naigwe eji laser arụ ọrụ, akụkụ ogwe osisi dị mkpa. Ọ bụrụ na ebe a na-eme mkpọtụ n'oge a na-egbutu osisi, kerf ahụ na-agbasa ma nsọtụ ya na-ebelata. Anyị na onye na-eme ngwaọrụ ahụike rụkọrọ ọrụ, onye na-akpụcha stents n'ihi na ha anaghị arụ ọrụ nke ọma n'ebe a na-arụ ọrụ.

Igwe ịkpụ laser ụlọ ọrụ nwere okporo ụzọ nduzi kwụ ọtọ - njehie pitch na axes gantry na-apụta ozugbo na kerfs gbagọrọ agbagọ na omimi ịkpụ na-adịghị agbanwe agbanwe n'ofe envelopu ọrụ.

XY haogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axisnwere njehie pitch na-adịghị edozi nke sekọnd 45 arc n'okpuru ibu cantilever. Site n'ịgbanwe gaa na ogbo cross-roller sara mbara nke nwere ọkwa oge 3× karịa, na iji nkwụghachi njehie ngwanrọ maka sekọnd 10 arc fọdụrụnụ, ha wetara mgbanwe ịkpụ ahụ n'ime ndidi. Enweghị ihe mkpofu ọzọ.Ama jijiji nke ọkwa kwụ ọtọNsogbu ahụ bụ okwu e ji mee ihe ozugbo.

Nhazi Anya Akpaka akpaghị aka

Nanhazi ngwa anya akpaghị akanke ibe fotonik, ị na-agbalị ijikọ ìhè na izi ezi nke sub-micron. Ọ bụrụ na ọkwa gị na-ama jijiji 50 arc-sekọnd, arụmọrụ njikọ ahụ na-ebelata ma algọridim nhazi ahụ na-ewe oge ịchọ.

Ogbo nhazi aka ziri ezi nke etinyere na bọọdụ breadboard optical - njikọ eriri na ntọala nhazi photonic na-adabere na nkwụsi ike mekaniki nke dị n'okpuru arc-sekọnd iji mee ka algọridim ọchụchọ dị ngwa ma nwee ike imeghachi ya.

Ndị ahịa anyị na-achọkarị otu ọnụọgụgụ arc-second wabble. Ha na-eji cross-roller.ogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axismgbakọ na mwepụ nwere nhazi piezo dị iche iche na maapụ njehie nke ụlọ ọrụ mepụtara. Otu ụlọ nyocha anyị na-akwado jikọtara ọkwa anyị na-agagharị agagharị na ndị na-eme ihe nkiri piezo ma nweta usoro nhazi ngwa ngwa 3× n'ihi na mgbagharị igwe dị n'okpuru dị ala nke na-ebelata ebe nchọta ahụ.

Àgwà Mmezi Ngwa Ngwa nke Na-eme Ka Ịda mbà

Ozugbo etinyere sistemụ gị, ụfọdụ omume dị mfe na-egbochi ịma jijiji ịlaghachi azụ:

Hichaa ihe mgbochi mmiri kwa ọnwa.Jiri isopropyl alcohol na ihe nhicha aka na-enweghị lint.

Tinyegharịa mmanụ ahụ n'oge.Lelee akwụkwọ ntuziaka anyị maka mmanụ kwesịrị ekwesị. Oke oke bụ ihe ọjọọ dịka obere oke.

Lelee mbubata tupu oge eruo kwa ọnwa isii.Anyị na-eme nke a na ngwaọrụ ngosi nke anyị.

Mkpọchi torque na-emegharị kwa afọ.Ịma jijiji na-eme ka ha dị jụụ, njehie na-etokwa.

Usoro ndị a na-ewe nkeji mana na-echekwa awansogbu nsogbu pitchemechaa.

Mgbe Ị Kwesịrị Ịkpọtụrụ Anyị

Mgbe ụfọdụAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọNsogbu ahụ na-esikwu ike. Ma eleghị anya ibu ọrụ ahụ dị oke mgbagwoju anya nke na ọ gaghị ekwe omume idozi ya ngwa ngwa. Ma eleghị anya ịchọrọ ebe a na-eme ihe ngosi pụrụ iche nke nwere ebe a na-anaghị agbaso iwu. Ma ọ bụ ikekwe ị maghị ma njehie ahụ ọ na-esi na ebe a na-eme ihe ngosi maọbụ nhazi ya apụta.

Ọ bụ ebe ahụ ka ndị otu anyị nwere ike inye aka. Anyị ejirila ihe karịrị afọ itoolu rụọ ọrụ n'ịrụ ọrụ n'ịrụ ọrụ ntuziaka na usoro nhazi ziri ezi nke ụgbọala na ikpo okwu nhazi zuru oke. Anyị anaghị ere gị naanị otu nọmba akụkụ. Anyị na-ekwu maka ọnọdụ ibu gị, usoro njem gị, ebumnuche izi ezi gị - ma na-akwado yaogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axisNhazi nke na-arụ ọrụ site na ụbọchị mbụ. Ngwaahịa anyị na-ekpuchi ihe niile site na slide dị mfe ejiri aka cross-roller ruo na stacks XYZθ akpaghị aka zuru oke yana njikọta njikwa.

Ọ bụrụ na ị na-agba mgbaAma jijiji nke ọkwa kwụ ọtọma na-etinye oge dị ukwuu nansogbu nsogbu pitch, kpọọ anyị ozi ma ọ bụ kpọọ ndị injinia ngwa anyị. O yikarịrị ka anyị edozila otu ihe ịma aka ahụ mbụ, anyị nwekwara obi ụtọ ịkọrọ gị ihe anyị maara.

Ịchịkọta ya

Njehie na-ama jijiji na pitch naogbo ahịrị dị iche iche nke ọtụtụ axisSistemụ ndị a na-ahụkarị, mana ha abụghị voodoo. Ha sitere na ihe ndị a na-atụ anya ha, ndị a pụrụ idozi: ịdị larịị nke ịwụnye, ibu tupu ebuga, ibu cantilever, ọnọdụ ibu, na usoro nhazi. Jiri usoro nha rụọ ọrụ site na nha dabere na nha.nsogbu nsogbu pitchusoro, họrọ teknụzụ nduzi kwesịrị ekwesị (chetaỌkwa ndị a na-akpọ Crossed-roller vs. nke nwere bọọlụ maka arụmọrụ na-ama jijiji na pitchgbanwee), ma nọgide na-eme usoro gị site na usoro dị mfe.Nnyocha wafer semiconductor,igwe eji laser arụ ọrụ, ma ọ bụnhazi ngwa anya akpaghị aka— ga-ekele gị maka mmụba dị elu na obere oge ezumike.

Anyị nwere olileanya na ntuziaka a ga-enye gị ụzọ doro anya ịga n'ihu. Chetakwa, ọ bụrụ na ị jụọ onwe gị,"Kedu otu m ga-esi belata mkpọtụ ọkwa ahịrị nke ọma ma dozie nsogbu njehie pitch na sistemụ ọkwa ahịrị dị iche iche m?"— ị nwere onye mmekọ nke na-aza ajụjụ ahụ ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ afọ iri. Ka anyị mee ka mmegharị gị rụọ ọrụ kpọmkwem otú o kwesịrị.