Mekhahlelo ea Enjene e Tsamaeang ka ho Otloloha: Ho Finyella ho Nepahala ha Sub-Micron

Tšobotsi	Mokhahlelo o otlolohileng oa ho khanna ka kotloloho	Sethala sa Sekere sa Bolo
Ho kgutlela morao	Lefela (ha ho na terene e kgannang ka mechine)	2–5 µm e tloaelehileng, esita le ka linate tse seng li kentsoe pele
Ho roaloa ha mechini	Hoo e ka bang ha ho le e 'ngoe enjeneng; litataiso li lekantsoe bakeng sa li-micron tse libilione tsa maeto	Ho senyeha ha screw le linate butle-butle; ho otloa ha mokokotlo hoa hola ha nako e ntse e ea
Lebelo le phahameng ka ho fetisisa	2–5 m/s	0.5–1 m/s
Ho potlaka	2–5 g (sebopeho se thata, matla a mangata)	0.5–1 g (e lekanyelitsoe ke ho se sebetse hantle ha screw le whip)
Ho nepahala ha sebaka	± 0.1 µm ka encoder ea 1 nm	±2–5 µm, e itshetlehile haholo hodima 'mapa
Nako ea ho rarolla mathata	Ka tlase ho 10 ms kamora ho sisinyeha ha 1 mm	30–80 ms ka lebaka la ho thothomela ho setseng le ho khutlela morao
Tlhokomelo	Hlahloba dibering, hlwekisa sekala sa encoder	Ho tlotsa kamehla, ho lokisa dikurufu, le ho nkela sebaka qetellong
Bophelo bo tloaelehileng	Enjene e fetang dihora tse 50,000; nako ya bophelo ba tataiso e itshetlehile ka mojaro	Bophelo ba screw 10,000–20,000 km ea leeto pele ho nepahala ho senyeha

Sethala sa screw sa bolo ke boqapi bo botle haholo, 'me se ntse se utloahala bakeng sa lits'ebetso tse theko e tlase le tse sa hlokeng litšenyehelo tse ngata. Empa haeba ts'ebetso ea hau e hloka 'netemohato oa ho beha maemo a sub microne ntseng e sebetsa 24/7,mohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe itefella ka potlako—hangata selemong sa pele sa ho fokotseha ha nako ea ho sebetsa le tlhahiso e phahameng.

Kamoo Sethala sa ho Beha Maemo sa Sub Micron se Bolokang Nepahalo ka Lebelo le Felletseng

Jwale kgutlela potsong eo e tshwenyang. Na o ka fihlella dinomoro tse nyane ntle le ho kgasa? E. Sephiri se sebakeng se tharo.

1. Matla a ho khanna ka ho toba a se nang mokena-lipakeng.
A sethala sa enjene e otlolohilenge kenya matla ka ho toba mojarong o payload. Ha ho na screw eo u ka e sothang, ha ho na coupling ho boloka eneji. Seo se bolela hore ha molaoli a laela mohato oa 0.5 µm, sethala se tsamaea hantle joalo—ha ho na ho kobeha, ha ho na ho lokolloa.

2. Maikutlo a boleng bo holimo a fumaneha hang feela sebakeng seo ho leng bohlokoa ho sona.
Hoo e ka bang e 'ngoe le e 'ngoemohato oa ho beha maemo a sub micronRe haha ​​re sebelisa sekhomaretsi se otlolohileng se nang le nako ea lets'oao la 20 µm kapa ka tlase. Phetolelo e sutumelletsa qeto ho 1 nm. Hobane sekhomaretsi se bala boemo ka ho toba ho tloha kariking e tsamaeang, se hlokomoloha liphoso tsa li-screw ka botlalo.

3. Ho lokisa servo ho laolang matla a phahameng.
E thatamohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe ka hlophisoa ka di-bandwidth tse phahameng tsa servo. Di-algorithms tsa ho fetisetsa pele le taolo ya ho sisinyeha di dumella sethala ho potlaka ka 3 g, ho tsamaya ka lebelo la 2 m/s, mme di ntse di dula ka hara fensetere ya ±0.1 µm ka tlasa di-millisecond tse 15. Ke yona foromo ya boselamose bakeng sa phallo e phahamengmohato oa ho beha maemo a sub microntshebetso.

Linomoro tsa Tlhahiso ea Sebele

Seleng ea tlhahlobo ea semiconductor re thusitse ho iketsetsa selemo se fetileng,sethala sa enjene e otlolohilenge nkile sebaka sa sistimi ea khale ea XY ea screw-ball. Ts'ebetso e ne e hloka li-stops tse 8 ka wafer, e 'ngoe le e 'ngoe e na le fensetere ea mamello ea ±0.2 µm. Sistimi ea khale e ne e nka 420 ms ka potoloho ea ho sisinyeha le ho rarolla mathata. E nchamohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe fokoditse seo ho 170 ms. Phallo e nyolohile ka 28%, mme Cpk bakeng sa ho beha boemo bo pheta-phetoang e nyolohile ho tloha ho 1.1 ho isa ho 1.6. Ke karabo ya fektheri potsong e telele.

Moo ho nepahala ha Sub-Micron ho hlileng ho leng bohlokoa

Hase mochini o mong le o mong o hlokangmohato oa ho beha maemo a sub micronEmpa ha o sebetsa libakeng tsena, ha ho buisanoe.

Tlhahlobo ea wafer ea semiconductor le metrology e nepahetseng
Tlhahlobo ea sekoli sa Wafer, metrology ea overlay, le tekanyo ea bohlokoa ea tekanyo kaofela li itšetlehile ka motsamao o potlakileng le o ka phetoang oa sethala.mohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohomehato ho tloha ho die ho ya ho die, e tshwara sebaka ka hara mashome a mmalwa a di-nanometer, mme e etsa jwalo ka makgetlo a dikete ka hora. Ho thothomela hofe kapa hofe ho bakwang ke dikurufu ho ka senya tekanyo. Ena ke mofuta wa tikoloho e batlang tlhahiso eo potso ya mohatla o molelele e e shebaneng le yona, mme ke moosethala sa enjene e otlolohilengLi-platform li fetohile tsa kamehla.

Ho etsa le ho ngola ka laser micromachine
Likarolo tsa ho seha tse ka tlase ho bophara ba 10 µm li hloka taolo e sa fetoheng ea lebelo ntle le ho thothomela ho hang.mohato oa ho beha maemo a sub microne kopantsoeng le enjene e otlolohileng e fana ka motsamao o boreleli ka lebelo le phahameng, e qoba liphoso tsa nako le nako tseo li-screw tsa bolo li li hlahisang.

Ho kopanya le ho aba lisebelisoa tsa bongaka
Nahana ka di-chip tse nyane tse phallang kapa di-sensor tse ka kenngwang.mohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe ka etsang metsamao e likete-kete ea amplitude e nyane ntle le ho hlahisa mocheso kapa ho lahla likaroloana. Ts'ebetso e se nang tlhokomelo e bohlokoa bakeng sa ho tsamaisana le kamore e hloekileng.

Ho hokahanya mahlo le ho paka li-photonics
Ho hokahanya faeba le tataiso ea maqhubu ho hloka qeto ea mehato ea sub-micron, hangata ho feta leeto la millimeter.sethala sa enjene e otlolohilengKa di-encoder tsa nanometer, o dumella ho etsa mesebetsi ya ho batla ka potlako ebe o notlela ka nepo.

Ho Khetha Seteishene sa Motlakase o Molelele: Lintlha tse 5 tse Etsang kapa tse Senyang Morero oa Hao

Ho reka bakeng samohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe ka ikutloa e imetsoe. Lilemong tse robong tse fetileng, re fokolitse ts'ebetso ea khetho ho isa libakeng tse hlano tse sebetsang tsa tlhahlobo.

1. Moroalo le Boitlhakiso

Moroalo oa 'nete, eseng feela boima ba karolo. Nahana ka likhoele, li-bracket, le meroalo efe kapa efe e seng bohareng. Haeba sethala se phahama ka ho otloloha, o hloka matla a lekaneng a tsoelang pele ho loantša matla a khoheli ntle le ho chesa haholo.sethala sa enjene e otlolohilengka tekanyo ea polokeho ea 20-30% holim'a matla a tlhoro e tla boloka ho nepahala ha eona nako e telele.

2. Stroke le Boholo ba Sephutheloana

Mehato ea ho khanna ka kotloloho e khanya ho tloha ho 50 mm ho isa ho 1200 mm le ho feta. Ela hloko bolelele bohle—amohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoka moralo oa koili e tsamaeang e tla ba bolelele ba stroke habeli hammoho le bophara ba kariki. Lienjene tse se nang tšepe hangata li kena ka har'a enfelopo e tiileng empa li fapanyetsana matla a itseng.

3. Ho nepahala ha eona khahlanong le ho pheta-pheta

Bakeng samohato oa ho beha maemo a sub micron, ka bobeli lia bohlokoa. Ho nepahala ho tsoa boleng ba encoder, ho otloloha ha sethala, le botsitso ba mocheso. Ho pheta-pheta ho itšetlehile ka liphoso tsa ho khutlela morao tsa terene ea ho khanna—ha ho na le ho khanna ka kotloloho. Haeba ts'ebeliso ea hau e hloka ho pheta-pheta feela, ka linako tse ling u ka fokotsa lintlha tsa ho nepahala, empa re khothaletsa encoder e ntle ea mola o otlolohileng leha ho le joalo.

4. Kamore ea ho Hloekisa le Tikoloho

Sethaleng sa screw sa bolo se kenya setlolo le dikarolwana moyeng.mohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe ka hahuoa ka likoahelo tsa tšepe e sa ruseng, likhoele tse sa ntšeng khase e ngata, le li-bearing tse hloekileng tse se nang mafura bakeng sa tikoloho ea ISO 5. Sena ke sa bohlokoa bakeng saTlhahlobo ea wafer ea semiconductor le metrology e nepahetseng.

5. Kopanyo le Tšehetso

Ho reka e ikemetsengsethala sa enjene e otlolohilengke ntho e 'ngoe. Ho e etsa hore e bue le sistimi ea hau ea pono, tafole ea ho itšehla thajana ea ho thothomela, le potoloho ea polokeho ke ntho e 'ngoe hape. Sehlopha sa rona se qetile lilemo tse robong se rarolla li-puzzle tsena tse tobileng tsa kopanyo mekhahlelong ea letsoho le ea motlakase, hammoho le li-platform tse felletseng tsa ho hokahanya. Haeba u sa kholiseha hore namohato oa ho beha maemo a sub microne tla lekana mochining oa hau o seng o ntse o le teng, bua le rona esale pele. E boloka likhoeli tsa ho lokisa lintho.

Hobaneng ha "Ho se Hlokomele" ho Fetola Mohlala oa Hao oa Litšenyehelo

Polelwana eo re e sebedisang hangata ke “ha ho na tlhokomelo,” empa ha re bue nnete—ha ho letho leo e leng tlhokomelo e lefela. Di-bearing tse tataisang di ntse di hloka ho hlakola le ho hlahloba potoloho. Empa phapang pakeng tsamohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotloloho'me litšenyehelo tsa ts'ebetso ea screw ea bolo li kholo haholo.

Sethala sa skrufo sa bolo moleng oa ho skena oa 24/7 se ka hloka setlolo likhoeli tse ling le tse ling tse 2-3 le ho nkeloa sebaka ke skrufo lilemo tse ling le tse ling tse 2-3. Ketsahalo e 'ngoe le e 'ngoe ea tšebeletso e bolela ho lokisa bocha le ho se sebetse. Ho feta lilemo tse hlano, seo se ka eketsa matsatsi a 20-30 a tlhahiso e lahlehileng.sethala sa enjene e otlolohilenge felisa lits'ebeletso tseo tse amanang le likurufu. MTBF ea enjene ka boeona e ka feta lihora tse 50,000. Ha u bala litšenyehelo tsohle tsa beng, theko ea pele e phahameng eamohato oa ho beha maemo a sub micronhangata e fetoha poloko ea lipalo tse hlano.

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa

Na sethala se otlolohileng sa ho khanna ka kotloloho se ka fana ka ho nepahala ha ho beha maemo a sub-micron libakeng tse hlokang tlhahiso ntle le ho beha lebelo le phallo kotsing?
Ehlile. Jwalo ka ha re bontshitse pejana, setsebi se hloahloa samohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoe kopanya motsamao wa lefela-backlash le di-encoder tse otlolohileng tse nang le qeto e phahameng. Meleng ya tlhahlobo ya wafer ya semiconductor le metrology e nepahetseng, mekhahlelo ena e atisa ho fihlella ho pheta-pheta ha ±0.1 µm ha e ntse e tsamaya ka lebelo la 2 m/s mme e potlakisa ho 3 g. Senotlolo ke ho tlosa ho latela melao ya mechini—ntle le sekurufu kapa lebokose la gear, sethala ha se na letho leo se ka le qetellang le ho le lokolla, kahoo dinako tsa ho rarolla di dula di le kgutshwane haholo. Phello e nyoloha, eseng e theohile.

Mokhahlelo oa enjene e otlolohileng o nka nako e kae?
Karolo ea enjene ka boeona ha e na likarolo tse hokahaneng, kahoo e ka sebetsa lihora tse fetang 50,000 ntle le ho sisinyeha ha ts'ebetso. Moeli oa bophelo hangata ke tataiso e otlolohileng, e itšetlehileng ka mojaro le tšilafalo. Ka tšireletso e nepahetseng,sethala sa enjene e otlolohilenge ka boloka ho nepahala ha eona ha pele ka lilemo tse leshome.

Na ho thata ho laola sethala sa mola o otlolohileng sa ho kganna ka kotloloho?
E seng haeba drive le tokiso li hlophisitsoe hantle. Li-drive tsa servo tsa kajeno li kenyelletsa mekhoa ea ho lokisa ka bohona le feed-forward e tsoetseng pele e etsangmohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotlolohoHa ho thata ho e kenya tshebetsong ho feta sethala sa dikurufu. Sehlopha sa rona sa ditshebediso se fana ka disete tsa diparamitha tse lokisitsweng esale pele bakeng sa mefuta e tlwaelehileng ya mojaro, kahoo o ka sebetsa ka dihora.

Ho thoe'ng ka mocheso?
Li-motor tse otlolohileng li hlahisa mocheso ka har'a coil, empamohato oa ho beha maemo a sub microne hahiloeng ka taolo e ntle ea mocheso (motheo oa aluminium, ho pholisa metsi ka boikhethelo) e boloka mocheso o phahama ka tlase ho likhato tse 'maloa. Litlhophisong tsa metrology e nepahetseng, hangata re sebelisa lienjene tse se nang tšepe ho felisa ho kobeha le ho fokotsa katoloso e bakoang ke mocheso.

Ha re Haheng Sebaka sa Hao sa ho Beha Maemo a Sub Micron Hammoho

Ho khetha pakeng tsamohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotloloho'me sistimi ea setso ea li-screw ha se qeto ea kataloge—ke letsete la ts'ebetso. U hloka molekane ea utloisisang horemohato oa ho beha maemo a sub microne tlameha ho fana ka tlhahiso ea 'nete sethaleng sa tlhahiso ea 'nete, eseng maqephe a data a khahlang feela.

Re ntse re rala, re etsa, 'me re rekisa mekhahlelo ea letsoho le ea enjene, liforomo tsa ho hokahanya ka nepo, le litsamaiso tsa ho beha maemo ka letoto le felletseng ka lilemo tse fetang robong.sethala sa enjene e otlolohilengdi-module ho dienjini tsa ho hokahanya di-axis tse ngata tse kopantsweng ka botlalo, re fana ka hardware le tsebo ya tshebediso. Hore na o sebetsa molokong o latelangtlhahlobo ea wafer ea semiconductor le metrology e nepahetsenglisebelisoa kapa ts'ebetso ea laser e potlakileng, re ka u thusa ho khetha se nepahetsengmohato o otlolohileng oa ho khanna ka kotloloho'me u e hlophise bakeng sa mojaro oa hau, tikoloho le potoloho ea mosebetsi.

Se ke oa lumella kotara e 'ngoe ea tlhahiso hore e fete ka sistimi ea ho beha lebelo e fokotsang lebelo la hau. Ikopanye le sehlopha sa rona ka foromo ea ho ikopanya e webosaeteng ea rona, kapa u re letsetse. Re bolelle ka phephetso ea hau ea motsamao, 'me re tla sebetsa le uena ho hlalosamohato oa ho beha maemo a sub microne lumellanang le tekanyetso ea hau ea lichelete 'me e feta lipheo tsa hau tsa ho qeta. A re etseng hore motsamao oa sub-micron e be ntho ea sebele ea tlhahiso, eseng ntho e makatsang ea laboratori.