Шууд хөтлөгчтэй шугаман моторын үе шатууд: Микроноос доогуур нарийвчлалд хүрэх

Онцлог	Шууд хөтлөгчтэй шугаман үе шат	Бөмбөгний шурагны үе шат
Сөрөг нөлөө	Тэг (механик хөтлөгчгүй)	Урьдчилан ачаалсан самартай байсан ч гэсэн ердийн 2-5 µm
Механик элэгдэл	Моторт бараг байхгүй; хөтөч нь тэрбум микрон аяллын хурдтай	Шураг болон самар тогтвортой элэгддэг; цаг хугацааны явцад сөрөг нөлөө нэмэгддэг
Хамгийн дээд хурд	2–5 м/с	0.5–1 м/с
Хурдатгал	2–5 гр (илүү хатуу бүтэцтэй, хүчний нягтрал өндөр)	0.5–1 гр (шурагны инерци болон ташуураар хязгаарлагддаг)
Байршлын нарийвчлал	1 нм кодлогчтой ±0.1 µм	±2–5 µм, зураглалаас ихээхэн хамааралтай
Тогтворжуулах хугацаа	1 мм-ийн хөдөлгөөний дараа <10 мс	Үлдэгдэл чичиргээ болон урвуу ухрах нөлөөллөөс болж 30–80 мс
Засвар үйлчилгээ	Холхивчийг шалгаж, кодлогчийн хуваарийг цэвэрлэнэ үү	Тогтмол тослох, боолтыг тохируулах, эцэст нь солих
Ердийн амьдрал	Мотор >50,000 цаг; хөтөчийн ашиглалтын хугацаа нь ачааллаас хамаарна	Нарийвчлал муудахаас өмнө 10,000–20,000 км явсан шурагны ашиглалтын хугацаа

Бөмбөлөг шурагтай шат нь гайхалтай бүтээл бөгөөд бага ачаалалтай, өртөг багатай хэрэглээнд тохиромжтой хэвээр байна. Гэхдээ хэрэв таны үйл явц үнэн зөвийг шаарддаг болмикроноос доош байрлал тогтоох үе шат24/7 ажиллаж байгаа,шууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатхурдан зардлаа нөхдөг - ихэвчлэн зогсолтын хугацаа багасч, бүтээмж нэмэгдсэн эхний жилд.

Микроноос доогуур байршил тогтоох үе шат нь бүрэн хурдаар нарийвчлалыг хэрхэн хадгалдаг вэ

Одоо тэр төвөгтэй асуулт руугаа буцаж оръё. Та микроноос бага тоонуудыг мөлхөхгүйгээр үнэхээр тодорхойлж чадах уу? Тийм ээ. Нууц нь гурван газарт байдаг.

1. Зуучлагчгүй шууд хөтлөгч хүч.
A шугаман моторын үе шатАчаа руу шууд хүч үйлчилдэг. Эргүүлэх шураг байхгүй, энерги хадгалах холбогч байхгүй. Энэ нь хянагч 0.5 µм алхам хийх үед шат яг тэр хэмжээнд хөдөлдөг гэсэн үг юм - ороох, суллахгүй.

2. Сонирхолтой цэг дээр өндөр нягтралтай санал хүсэлт.
Бараг бүхмикроноос доош байрлал тогтоох үе шатБидний бүтээх загвар нь 20 µм буюу түүнээс бага дохионы хугацаатай шугаман кодлогчийг ашигладаг. Интерполяци нь нарийвчлалыг 1 нм хүртэл бууруулдаг. Кодлогч нь хөдөлж буй тэрэгнээс шууд байрлалыг уншдаг тул шурагны алдааг бүрэн үл тоомсорлодог.

3. Өндөр динамикийг номхотгодог серво тохируулга.
Хөшүүншууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатөндөр серво зурвасын өргөнөөр тохируулж болно. Урвуу дамжуулалтын алгоритмууд болон огцом удирдлага нь үе шатыг 3 г хурдтайгаар хурдасгаж, 2 м/с хурдтайгаар гүйж, ±0.1 µм цонхны дотор 15 миллисекундээс бага хугацаанд тогтох боломжийг олгодог. Энэ бол өндөр нэвтрүүлэх чадварын шидэт томъёо юм.микроноос доош байрлал тогтоох үе шатгүйцэтгэл.

Бодит үйлдвэрлэлийн тоонууд

Бид өнгөрсөн жил хагас дамжуулагчийн хяналтын камерт автоматжуулалт хийхэд тусалсан,шугаман моторын үе шатХуучин бөмбөлөг шурагтай XY системийг сольсон. Энэ процесст вафли тус бүр ±0.2 µм хүлцлийн цонхтой 8 зогсолт шаардлагатай байсан. Хуучин систем нь хөдөлж суурьших мөчлөг бүрт 420 мс зарцуулсан. Шинэшууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатүүнийг 170 мс болгон бууруулсан. Гүйцэтгэл 28%-иар өссөн бөгөөд байрлал тогтоох давтагдах чадварын Cpk нь 1.1-ээс 1.6 болж өссөн. Энэ бол урт сүүлтэй асуултын үйлдвэрийн хариулт юм.

Микроноос доогуур нарийвчлал үнэхээр чухал газар

Бүх машинд шаардлагагүймикроноос доош байрлал тогтоох үе шатГэхдээ та эдгээр орон зайд үйл ажиллагаа явуулах үед энэ нь хэлэлцээр хийх боломжгүй юм.

Хагас дамжуулагч хавтангийн үзлэг ба нарийвчлалын хэмжил зүй
Ваферын согогийн хяналт, давхаргын хэмжилт, чухал хэмжээсийн хэмжилт нь бүгд хурдан, давтагдах боломжтой үе шатны хөдөлгөөнөөс хамаардаг. Ашууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатцооногоос цооног хүртэл алхам алхмаар, хэдэн арван нанометрийн дотор байрлалаа хадгалдаг бөгөөд цагт хэдэн мянган удаа хийдэг. Аливаа урвуу цохилт эсвэл боолтоор өдөөгдсөн чичиргээ нь хэмжилтийг алдагдуулна. Энэ бол урт сүүлт асуултын зорилтот үйлдвэрлэлийн яг ийм төрлийн хүнд хэцүү орчин бөгөөд энэ нь хаана байна вэшугаман моторын үе шатплатформууд анхдагч болсон.

Лазер микро боловсруулалт ба бичвэр
10 µм-ээс бага өргөнтэй огтлох функцууд нь тэг долгионтой тогтмол хурдны хяналтыг шаарддаг. Aмикроноос доош байрлал тогтоох үе шатШугаман мотортой хослуулсан нь өндөр хурдтайгаар жигд хөдөлгөөнийг бий болгож, бөмбөлөг шурагнаас үүдэлтэй үечилсэн алдаанаас зайлсхийдэг.

Эмнэлгийн хэрэгслийг угсрах, түгээх
Микро-флюидик чип эсвэл суулгацтай мэдрэгчийн талаар бодоод үз дээ. Танд хэрэгтэйшууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатдулаан үүсгэх эсвэл тоосонцорыг гадагшлуулахгүйгээр мянга мянган жижиг далайцтай хөдөлгөөнийг гүйцэтгэж чадна. Засвар үйлчилгээ шаарддаггүй ажиллагаа нь цэвэр өрөөний нийцтэй байдлын хувьд чухал юм.

Оптик тохируулга ба фотоник сав баглаа боодол
Шилэн кабелийг долгион хөтлүүртэй холбоход микроноос бага алхамын нарийвчлал шаардлагатай бөгөөд энэ нь ихэвчлэн миллиметрийн масштабтай аяллаас давдаг.шугаман моторын үе шатНанометрийн кодлогчтой тул та хурдан хайлтын горимуудыг ажиллуулж, дараа нь нарийвчлалтайгаар түгжих боломжтой.

Шугаман моторын шатыг сонгох нь: Төслийг тань хөгжүүлэх эсвэл зогсоох 5 хүчин зүйл

Худалдан авалт хийхшууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатхэт их санагдаж магадгүй. Сүүлийн есөн жилийн хугацаанд бид сонгон шалгаруулах үйл явцыг таван практик хяналтын цэг болгон бууруулсан.

1. Ачаалал ба чиг баримжаа

Зөвхөн эд ангийн масс биш, харин бодит ачааллыг тооцно. Кабель, бэхэлгээ болон төвөөс гадуурх ачааллыг тооцно. Хэрэв тайз босоо байдлаар бэхлэгдсэн бол хэт халалтгүйгээр таталцлын эсрэг тэмцэхэд хангалттай тасралтгүй хүч хэрэгтэй. Ашугаман моторын үе шатОргил хүчний үед 20-30% аюулгүй байдлын хязгаартай тул нарийвчлалаа удаан хадгалах болно.

2. Цохилт ба савлагааны хэмжээ

Шууд хөтлөх шатууд нь 50 мм-ээс 1200 мм ба түүнээс дээш гэрэлтдэг. Нийт уртыг анхаарч үзээрэй—aшууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатХөдөлгөөнт ороомгийн загвар нь цохилтын урт болон тэрэгний өргөнөөс хоёр дахин их байх болно. Төмөргүй мотор нь ихэвчлэн илүү нягт бүрхүүлд багтах боловч хүчний нягтралыг өөрчилдөг.

3. Нарийвчлал ба давтагдах чадвар

Нэгмикроноос доош байрлал тогтоох үе шат, хоёулаа чухал. Нарийвчлал нь кодлогчийн чанар, шатлалын шулуун байдал, дулааны тогтвортой байдлаас хамаардаг. Давтагдах чадвар нь хөтлөгчийн цувааны ухрах алдаанаас хамаардаг - шууд хөтлөлтөд тэг. Хэрэв таны програм зөвхөн давтагдах чадвар шаарддаг бол та заримдаа нарийвчлалын үзүүлэлтийг сулруулж болно, гэхдээ бид сайн шугаман кодлогчийг санал болгож байна.

4. Цэвэр өрөө ба орчин

Бөмбөлөг шураг шат нь тослох материал болон тоосонцорыг агаарт цацдаг.шууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатISO 5 орчинд зориулсан зэвэрдэггүй ган бүрхүүл, хий бага ялгаруулдаг кабель, цэвэр тосгүй холхивчоор угсарч болно. Энэ нь зайлшгүй шаардлагатайХагас дамжуулагч хавтангийн үзлэг ба нарийвчлалын хэмжил зүй.

5. Интеграци ба дэмжлэг

Бие даасан худалдаж авахшугаман моторын үе шатнэг хэрэг. Үүнийг таны харааны систем, чичиргээ тусгаарлах ширээ, аюулгүйн хэлхээтэй холбож өгөх нь өөр хэрэг. Манай баг эдгээр интеграцийн таавруудыг гар ажиллагаатай болон цахилгаан шат, түүнчлэн бүрэн тохируулгын тавцан дээр есөн жил зарцуулсан. Хэрэв та хэрхэн гэдгийг мэдэхгүй байгаа болмикроноос доош байрлал тогтоох үе шаттаны одоо байгаа машинд багтах тул бидэнтэй эртхэн ярилцаарай. Энэ нь хэдэн сарын турш дахин боловсруулалт хийхээс хэмнэнэ.

Яагаад "засвар үйлчилгээ шаардлагагүй" нь таны өртгийн загварыг өөрчилдөг вэ

Бидний байнга хэрэглэдэг хэллэг бол "засвар үйлчилгээ шаардлагагүй" боловч үнэнийг хэлэхэд юу ч засвар үйлчилгээ шаарддаггүй. Чиглүүлэгч холхивчийг арчиж шалгах цикл шаардлагатай хэвээр байна. Гэсэн хэдий ч ялгаа ньшууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатмөн бөмбөлөг шураг шат нь ашиглалтын зардалд асар их байдаг.

24/7 сканнердах шугамын бөмбөлөг шурагны үе шатыг 2-3 сар тутамд тослох, 2-3 жил тутамд шураг солих шаардлагатай байж магадгүй. Үйлчилгээний тохиолдол бүр дахин тохируулга хийх, зогсолт хийх шаардлагатай болдог. Таван жилийн хугацаанд энэ нь 20-30 хоногийн үйлдвэрлэлийн алдагдалд хүргэж болзошгүй.шугаман моторын үе шатЭдгээр шурагтай холбоотой үйлчилгээг арилгана. Моторын ажиллах хугацаа 50,000 цагаас хэтэрч болно. Нийт өмчлөлийн өртгийг тооцоолоход анхны өндөр үнэ ньмикроноос доош байрлал тогтоох үе шатихэвчлэн таван оронтой тоогоор хэмнэлт болж хувирдаг.

Байнга асуудаг асуултууд

Шууд хөтлөгчтэй шугаман үе шат нь хурд болон бүтээмжийг алдагдуулахгүйгээр үйлдвэрлэлийн хүнд нөхцөлд микроноос бага байрлалын нарийвчлалыг үнэхээр хангаж чадах уу?
Мэдээж. Өмнө нь үзүүлсэнчлэн, сайн инженерчлэгдсэншууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатөндөр нарийвчлалтай шугаман кодлогчтой тэг урвуу хөдөлгөөнийг хослуулдаг. Хагас дамжуулагч ваферын үзлэг болон нарийвчлалтай хэмжилзүйн шугамд эдгээр үе шатууд нь 2 м/с хурдтай хөдөлж, 3 г хурдатгалтай үед ±0.1 µм давтагдах чадварыг тогтмол мэдэрдэг. Гол нь механик нийцлийг арилгах явдал юм - шураг эсвэл хурдны хайрцаггүйгээр үе шат нь ороож, суллах зүйлгүй тул суурьших хугацаа маш богино байдаг. Гүйцэтгэл нь буурахгүй, харин дээшээ явдаг.

Шугаман моторын үе шат хэр удаан үргэлжлэх вэ?
Хөдөлгүүрийн элемент нь өөрөө ямар ч шүргэлцэх эд ангигүй тул гүйцэтгэлийн хэлбэлзэлгүйгээр 50,000 гаруй цаг ажиллах боломжтой. Ашиглалтын хязгаарлагч нь ихэвчлэн ачаалал болон бохирдлоос хамаардаг шугаман хөтөч юм. Зохих хамгаалалттай болшугаман моторын үе шатанхны нарийвчлалаа арван жилийн турш хадгалж чадна.

Шууд хөтлөгчтэй шугаман шатыг хянах нь илүү хэцүү юу?
Хэрэв хөтөч болон тохируулгыг зөв тохируулсан бол үгүй. Өнөөгийн серво хөтчүүд нь автомат тохируулгын горимууд болон дэвшилтэт дамжуулалтыг агуулдаг бөгөөд энэ нь ... болгодог.шууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатШураг шатыг ашиглалтад оруулахаас илүү хэцүү зүйл байхгүй. Манай програм хангамжийн баг нь нийтлэг ачааллын хязгаарт зориулж урьдчилан тохируулсан параметрийн багцуудыг нийлүүлдэг тул та хэдэн цагийн дотор ажиллаж эхлэх боломжтой.

Дулааны талаар юу хэлэх вэ?
Шугаман моторууд ороомогт дулаан үүсгэдэг боловчмикроноос доош байрлал тогтоох үе шатДулааны сайн менежменттэй (хөнгөн цагаан суурь, нэмэлт ус хөргөлт) барьсан нь температурын өсөлтийг хэдэн хэмээс доош байлгадаг. Нарийвчлалтай хэмжилзүйн тохиргоонд бид араатай холболтыг арилгах, дулаанаас үүдэлтэй тэлэлтийг багасгахын тулд төмөргүй мотор ашигладаг.

Микроны дэд байршлын үе шатыг хамтдаа бүтээцгээе

Хоёрын хооронд сонголт хийхшууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатуламжлалт шураг систем нь каталогийн шийдвэр биш, харин үйл явцын хөрөнгө оруулалт юм. Танд үүнийг ойлгодог түнш хэрэгтэймикроноос доош байрлал тогтоох үе шатзүгээр л гайхалтай өгөгдлийн хуудас биш, харин бодит үйлдвэрлэлийн түвшинд бодит бүтээмжийг хүргэх ёстой.

Бид есөн жилийн турш гарын авлагын болон моторжуулсан шат, нарийн тохируулгын тавцан, бүрэн цуврал байршлын системийг зохион бүтээж, үйлдвэрлэж, борлуулж байна. Стандартаасшугаман моторын үе шатБүрэн нэгдсэн олон тэнхлэгт тохируулгын хөдөлгүүрүүд рүү модулиудыг бид техник хангамж болон програмын мэдлэгийг хангадаг. Та дараагийн үеийнх дээр ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааранхагас дамжуулагчийн ваарны үзлэг ба нарийвчлалын хэмжилзүйбагаж хэрэгсэл эсвэл өндөр хурдтай лазер процессыг ашиглавал бид танд зөвийг нь сонгоход тусалж чаднашууд хөтлөгчтэй шугаман үе шатмөн үүнийг өөрийн ашигтай ачаалал, орчин болон ажлын мөчлөгт тохируулна уу.

Хурдаа хязгаарладаг байрлал тогтоох системээр дахин нэг үйлдвэрлэлийн улирлыг бүү өнгөрөөгөөрэй. Манай вэбсайт дээрх холбоо барих маягтаар дамжуулан манай багтай холбогдох эсвэл бидэнтэй холбогдоно уу. Хөдөлгөөний сорилтынхоо талаар бидэнд мэдэгдээрэй, бид тантай хамтран тодорхой болгох болно.микроноос доош байрлал тогтоох үе шаттаны төсөвт тохирсон бөгөөд таны нэвтрүүлэх хүчин чадлын зорилтоос давсан. Микроноос доош хөдөлгөөнийг лабораторийн сониуч зан биш, харин үйлдвэрлэлийн бодит байдал болгоё.