Vaega o le Mota Laina Tuusa'o: Ausia le Sa'o i lalo o le Micron

Vaega	Vaega Laina Tuusa'o o le Aveta'avale	Vaega o le Sikulima Polo
Tete'e Fa'afuase'i	Leai se mea (leai se fa'asologa o ta'avale fa'amekanika)	2–5 µm masani, e tusa lava pe i ai nati ua uma ona utaina
Ofu fa'amekanika	Toetoe lava leai se tasi i le afi; ua fa'avasegaina taiala mo piliona microns o femalagaaiga	E faifai pea ona ofuina le sikuliu ma le nati; e faʻateleina le teteʻe i le aluga o taimi
Saosaoa aupito maualuga	2–5 m/s	0.5–1 mita/s
Fa'avavevave	2–5 kalama (fausaga malō, malosi tele)	0.5–1 kalama (fa'atapula'aina e le malosi o le fa'a'au'au ma le sasa)
Sa'o le tulaga	±0.1 µm ma le 1 nm encoder	±2–5 µm, e faalagolago tele i le fa'afanua
Taimi e fa'amautu ai	<10 ms pe a uma se gaioiga e 1 mm	30–80 ms ona o le gatete o totoe ma le fesuia'iga o le backlash
Tausiga	Siaki u'amea, fa'amamā le fua fa'atatau o le encoder	Fa'a'asu masani, fetu'una'iga o sikulima, sui mulimuli ane
Olaga masani	Afi >50,000 itula; e fa'alagolago le umi o le ta'iala i le avega	O le umi e alu ai i le sikuliu e 10,000–20,000 km o femalagaaiga a'o le'i fa'aitiitia le sa'o

O se mea fou matagofie le fa'aogaina o se sikulima polo, ma e talafeagai lava mo galuega taugofie ma taugofie. Ae afai e mana'omia e lau faiga se mea monitulaga o le tu'uina o le sub micronlea e fa'aauau pea ona galue i le 24/7, letulaga laina tuusaoe vave ona totogi mo ia lava—e masani lava i totonu o le tausaga muamua o le faʻaitiitia o le taimi e le faʻagaoioia ai ma le maualuga o le gaosiga.

E fa'apefea ona taofia e le Sub Micron Positioning Stage le sa'o i le saoasaoa atoa

Ia toe foʻi nei i le fesili faʻalavelave. E mafai moni ona e oʻo i ni numera e itiiti ifo i le micron e aunoa ma le totolo pea? Ioe. O le mea lilo o loʻo i ai i vaega e tolu.

1. Malosiaga tuusa'o e aunoa ma se feso'ota'iga.
A tulaga afi lainae fa'aoga sa'o le malosi i le uta. E leai se sikulima e milo, leai se so'oga e teu ai le malosi. O lona uiga a fa'atonuina e le pule se la'asaga e 0.5 µm, e alu sa'o lava le tulaga i le mamao lena—leai se fa'amutaina, leai se fa'asa'olotoga.

2. Fa'amatalaga manino ma manino sa'o lava i le mea e te fiafia i ai.
Toetoe lava o taimi umatulaga o le tu'uina o le sub micronMatou te fa'aaogaina se encoder linear ma se vaitaimi fa'ailo e 20 µm pe itiiti ifo. O le interpolation e tuleia ifo ai le resolution i le 1 nm. Talu ai ona faitau sa'o e le encoder le tulaga mai le carriage fe'avea'i, e le amana'ia atoa ai mea sese o le sikulima.

3. Fa'atulagaina o le servo e fa'afilemuina ai le malosi maualuga.
O se mea faigatatulaga laina tuusaoe mafai ona fetu'una'i i le maualuga o le servo bandwidths. O le feed-forward algorithms ma le jerk control e mafai ai ona fa'avavevave le tulaga i le 3 g, fa'ata'amilo i le 2 m/s, ma tumau pea i totonu o le ±0.1 µm window i lalo ifo o le 15 milliseconds. O le fua fa'ataulāitu lea mo le maualuga o le throughput.tulaga o le tu'uina o le sub micronfaatinoga.

Fuainumera o le Gaosiga Moni

I totonu o se sela siaki semiconductor na matou fesoasoani e fa'aautomatika i le tausaga talu ai, o setulaga afi lainasuia ai se faiga tuai o le ball-screw XY. O le faagasologa e manaʻomia ai le 8 taofi i le wafer taʻitasi, e tofu ma le ±0.2 µm tolerance window. O le faiga tuai na alu ai le 420 ms i le taamilosaga o le gaoioi ma le nofo. O le foutulaga laina tuusaoua fa'aitiitia lena i le 170 ms. Na oso a'e le throughput i le 28%, ma na si'itia le Cpk mo le toe faia o le tulaga mai le 1.1 i le 1.6. O se tali lea mai le fale gaosi oloa i le fesili umi.

O le Mea e Tāua Moni ai le Sa'o o le Sub-Micron

E lē manaʻomia e masini uma setulaga o le tu'uina o le sub micronAe a e galue i nei avanoa, e lē mafai ona feutana'i.

Su'esu'ega o le semiconductor wafer ma le sa'o o le fuaina
O le iloiloga o le faaletonu o le wafer, le fuaina o le overlay, ma le fuaina o le tele o vaega taua e faalagolago uma i le vave ma le toe faia o le gaioiga o le vaega.tulaga laina tuusaola'asaga mai le tasi le isi, e tumau pea le tulaga i totonu o ni nai sefulu nanometa, ma faia i le faitau afe taimi i le itula. So'o se tete'e po'o se gatete e mafua mai i faovilivili o le a fa'aleagaina ai le fua. O le ituaiga tonu lava lea o le siosiomaga gaosiga faigata e taula'i i ai le fesili umi, ma o le mea leatulaga afi lainaua avea fausaga fa'avae ma mea masani.

Fa'amamago ma le tusitusi i le laser
O vaega o le tipiina i lalo ifo o le 10 µm le lautele e manaʻomia ai le pulea o le saoasaoa faifai pea ma le leai o se galu.tulaga o le tu'uina o le sub micronA fa'apipi'i fa'atasi ma se afi laina sa'o e tu'uina atu ai le gaioiga lamolemole i le saoasaoa maualuga, e 'alofia ai mea sese fa'avaitaimi e mafua mai i sikulima polo.

Fa'apotopotoina ma le tu'uina atu o masini fa'afoma'i
Mafaufau i ni micro-fluidic chips po'o ni sensors e mafai ona fa'apipi'i. E te mana'omia setulaga laina tuusaoe mafai ona faatino le faitau afe o gaioiga laiti e aunoa ma le faia o le vevela pe fa'amamago ai ni vaega. O le fa'agaoioiga e aunoa ma se tausiga e taua tele mo le fetaui lelei o potu mama.

Fa'atulagaina opitika ma afifiina o le photonics
O le fa'atulagaina o se alava i se ta'iala galu e mana'omia ai le fa'amautuina o la'asaga e itiiti ifo i le micron, e masani lava i luga o le la'asaga e o'o atu i le milimita.tulaga afi lainafa'atasi ai ma nanometer encoders e mafai ai ona e fa'atino ni su'esu'ega vave ma lokaina ma le sa'o.

Filifilia o se Linear Motor Stage: 5 Mea e Fa'atino ai pe Fa'aleagaina ai Lau Galuega

Fa'atauga mo setulaga laina tuusaoe mafai ona lagona le lofituina. I le iva tausaga ua tuanaʻi, ua matou faʻapuʻupuʻuina le faiga o filifiliga i ni siaki faʻatino e lima.

1. Uta ma le Fa'asinomaga

Uta moni, ae le na'o le mamafa o le vaega. Ia mafaufau i uaea, puipui, ma so'o se uta e le o i le ogatotonu. Afai e fa'apipi'i sa'o le tulaga, e te mana'omia le malosi faifai pea e tete'e atu ai i le kalave e aunoa ma le vevela tele.tulaga afi lainafaatasi ai ma se tulaga saogalemu e 20-30% i le malosi aupito maualuga o le a umi se taimi e tumau ai lona sa'o.

2. Fa'asologa ma le Tele o le Afifi

E pupula vaega o le ta'avale tuusa'o mai le 50 mm e o'o atu i le 1200 mm ma tua atu. Ia mataala i le umi atoa—atulaga laina tuusaofaatasi ai ma se mamanu o le uaea fe'avea'i o le a tusa ma le faaluaina o le umi o le stroke faaopoopo i ai le lautele o le taavale. O afi e leai ni u'amea e masani ona ofi i totonu o se teutusi e sili atu ona fufusi ae fefa'ataua'i nisi o le malosi.

3. Sa'o vs. Toe Fai

Mo setulaga o le tu'uina o le sub micron, e taua uma ia mea e lua. O le sa'o e sau mai le lelei o le encoder, le sa'o o le tulaga, ma le mautu o le vevela. O le toe faia e fa'alagolago i mea sese o le toe fa'afo'isia o le drive train—leai se mea i le direct drive. Afai e na'o le toe faia e mana'omia e lau talosaga, e mafai ona e fa'aitiitia le sa'o o le fa'amatalaga, ae matou te fautuaina se linear encoder lelei.

4. Potu Mamā ma le Siosiomaga

E tu'uina atu e se sikulima polo le suāuu ma ni vaega laiti i le ea.tulaga laina tuusaoe mafai ona fausia i ufi u'amea e le gaoia, uaea e le tele ni kesi e alu ese ai, ma u'amea mama e leai ni ga'o mo siosiomaga ISO 5. O se mea e tatau ona faia moSu'esu'ega o le semiconductor wafer ma le sa'o o le fuaina.

5. Tuufaatasia ma le Lagolago

Fa'atauina o se fale e tu to'atasitulaga afi lainae ese le mea. O le fa'aogaina e talanoa ai ma lau masini va'ai, laulau vavae'ese o le gatete, ma le matagaluega saogalemu o le isi lea mea. Ua iva tausaga o lo'o fa'aaluina e la matou 'au e fo'ia ai nei paso tu'ufa'atasia tonu i luga o la'asaga fa'atino ma eletise, fa'apea fo'i ma fa'avae fa'atulagaina atoa. Afai e te le o mautinoa pe fa'apefea onatulaga o le tu'uina o le sub microne fetaui lelei ma lau masini o iai nei, fa'amolemole talanoa vave mai ia i matou. E sefe ai masina o le toe faia o galuega.

Aiseā e Suia ai e le "Leai se Tausiga" Lau Fa'ata'ita'iga Tau

O se fuaitau tatou te faʻaaogaina soo o le "e leai se tausiga," ae ia tatou faʻamaoni—e leai se mea e leai se tausiga. E manaʻomia pea e le taʻiala uʻamea se taʻamilosaga e solo ai ma siaki ai. Ae o le eseesega i le va o letulaga laina tuusaoma o le tau o le fa'agaioiga o se vaega o le sikulima polo e matua tele lava.

O se vaega o sikulima polo i totonu o se laina su'esu'e 24/7 atonu e mana'omia le fa'asusuina i masina ta'i 2–3 ma sui sikulima i tausaga ta'i 2–3. O fa'alavelave ta'itasi o le tautua o lona uiga o le toe fa'atulagaina ma le taimi e taofia ai. I le silia ma le lima tausaga, e mafai ona fa'aopoopoina ai le 20-30 aso o le gaosiga ua leiloa.tulaga afi lainae aveese ai na auaunaga e fesoʻotaʻi ma sikuliu. O le MTBF o le afi lava ia e mafai ona sili atu i le 50,000 itula. A e fuafuaina le tau atoa o le umiaina, o le tau muamua maualuga o setulaga o le tu'uina o le sub microne masani ona liua i se sefega e lima fuainumera.

Fesili e Masani Ona Fesiligia

E mafai e se tulaga fa'asolosolo tuusa'o ona tu'uina atu moni le sa'o o le tulaga i lalo ifo o le micron i siosiomaga faigata o gaosiga e aunoa ma le fa'aitiitia o le saoasaoa ma le gaosiga?
Ioe lava. E pei ona matou faʻaalia muamua, o se mamanu ua mamanuina leleitulaga laina tuusaoe tu'ufa'atasia ai le gaioiga e leai se toe tete'e ma fa'ailoga laina maualuga. I le siakiina o le semiconductor wafer ma laina metrology sa'o, o nei la'asaga e masani ona o'o atu i le ±0.1 µm le toe fai a'o gaoioi i le 2 m/s ma fa'avavevave i le 3 g. O le ki autu o le ave'esea lea o le tausisia o masini—a aunoa ma se sikulima po'o se pusa kia, e leai se mea e fa'amamago ma fa'asa'oloto ai le la'asaga, o lea e matua pu'upu'u lava taimi e fa'amautu ai. E si'itia le gaosiga, ae le o lo'o i lalo.

O le ā le umi e tumau ai se tulaga o le afi linear?
O le elemene o le afi lava ia e leai ni vaega e fesoʻotaʻi, o lea e mafai ai ona faʻagaoioia mo le silia ma le 50,000 itula e aunoa ma se faʻaletonu o le faʻatinoga. O le tapulaʻa o le ola e masani lava o le taʻiala laina, lea e faʻalagolago i le avega ma le faʻaleagaina. Faatasi ai ma le puipuiga talafeagai, o setulaga afi lainae mafai ona taofia lona sa'o muamua mo le sefulu tausaga.

E faigata ea ona pulea se vaega laina tuusa'o o le ta'avale tu'usa'o?
E leai pe afai ua sa'o le setiina o le ta'avale ma le fa'atulagaina. O ta'avale servo i aso nei e aofia ai faiga fa'atulagaina otometi ma le fa'asologa fa'asolosolo fa'aleleia e faia ai setulaga laina tuusaoe le faigata ona fa'atonuina e pei o se vaega o le sikulima. E tu'uina atu e le matou 'au fa'aoga ni seti fa'atulagaga ua uma ona fa'atulaga mo le tele o avega masani, ina ia mafai ona e fa'agaoioia i totonu o ni nai itula.

Ae fa'apefea le vevela?
E fa'atupuina e afi laina le vevela i totonu o le uaea, ae o setulaga o le tu'uina o le sub micronfausia i le pulega lelei o le vevela (fa'avae alumini, fa'amālūlūina i le vai e filifili ai) e taofia ai le si'itia o le vevela i lalo ifo o ni nai tikeri. I fa'atulagaga sa'o o fua, matou te masani ona fa'aogaina afi e leai ni u'amea e aveese ai le cogging ma fa'aitiitia ai le fa'alauteleina e mafua mai i le vevela.

Se'i o tatou fausia fa'atasi lau Sub Micron Positioning Stage

Filifiliga i le va o setulaga laina tuusaoma o se faiga masani o sikuliu e lē o se faaiuga o le lisi oloa—o se faiga faafaigaluega. E te manaomia se paaga e malamalama o setulaga o le tu'uina o le sub microne tatau ona tuʻuina atu le gaosiga moni i luga o se fola gaosiga moni, ae le naʻo pepa faʻamatalaga mataʻina.

Ua silia ma le iva tausaga o matou mamanuina, gaosia, ma faʻatau atu ni vaega faʻatino lima ma faʻaeletise, ni faʻavae faʻatulagaina saʻo, ma ni faiga faʻatulagaina atoa. Mai le tulaga masanitulaga afi lainamodules i afi fa'atulagaina atoatoa e tele-axis, matou te tu'uina atu masini ma le poto masani i talosaga. Pe o e galue i le isi tupulagasiakiina o le semiconductor wafer ma le sa'o o le fuaina o fuameafaigaluega po'o se faiga laser saoasaoa maualuga, e mafai ona matou fesoasoani ia te oe e filifili le mea sa'otulaga laina tuusaoma fa'atulaga mo lau uta, siosiomaga, ma le ta'amilosaga o tiute.

Aua ne'i e fa'atagaina se isi kuata o le gaosiga e se ese atu ma se faiga fa'atulagaina e fa'atapula'aina ai lou saoasaoa. Fa'afeso'ota'i la matou 'au e ala i le fomu fa'afeso'ota'i i luga o la matou 'upega tafa'ilagi, pe vala'au mai. Ta'u mai ia i matou e uiga i lau lu'itau o gaioiga, ma o le a matou galulue fa'atasi ma oe e fa'amaoti mai setulaga o le tu'uina o le sub microne fetaui ma lau paketi ma sili atu i au sini o le gaosiga. Se'i o tatou faia le gaioiga o le sub-micron o se mea moni e fai, ae le o se mea e fia iloa e le fale su'esu'e.